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渦輪分子幫浦技術特點

新型的組合式分子幫浦，能產生5×10-7mbar以上的真空度。

內含乾式運行的隔膜幫浦做為前級幫浦(初級抽氣幫浦)，不需要再另接。

自動測量隔膜幫浦產生的真空壓力並自動啟動分子幫浦，不需要附加裝置和人為控制。

配有給容器充氣的充氣開關。

當達到一定的真空壓力後，可選擇自動關閉隔膜幫浦，以節省電源，增加設備的使用壽命。

採用自動空氣冷卻。

操作簡單，一個總開關便可開關渦輪分子幫浦。

乾式運行免維護，體積小，重量輕。

渦輪分子幫浦應用建議

高真空或乾淨環境的製程領域,如:蒸鍍與濺鍍,半導體技術實驗,化學氣相技術實驗,顯示器的生產,電子顯微,質譜儀