旋轉塗佈機

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旋轉塗佈機

旋轉塗佈機原理：

旋轉塗佈機,spin coaters,利用真空吸住基板,將欲塗佈的化學物質,如:光阻劑,由上方噴嘴滴下,藉由旋轉的離心力將物質均勻散佈,塗佈膜的厚度則視化學物質黏度,以及旋轉速度與旋轉時間來調整